样品体积：可选粉体沉积桶容积，一次沉积最大容积>160 ml

沉积区域加热温度：RT-300℃可控，控制精度±1℃

腔体烘烤温度：RT-150℃可控，控制精度±1℃

前驱体输运系统：标准2路前驱体管路，可以选配到6路以上

载气系统：N₂或者Ar 

沉积模式：连续模式^TM（Flow^TM）、停流模式^TM（StopFlow^TM）

沉积均匀性：以Al₂O₃为例，50ml粉体颗粒上沉积大约20nm薄膜，颗粒有效包裹度>95%

电源：50-60 Hz  220V /15A交流电源，标准金属机柜，易拆卸柜板，可调节支脚

仪器尺寸：1100 X 600 X 1200 mm

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