自我公司独有的“超快脉冲”微波等离子体增强原子层沉积技术设备推出以来，深受用户青睐和好评，持续获得多台（套）的订单，包括为用户在原有热式设备上的升级服务。该技术为模块化设计，可针对用户的多样性应用需求灵活对应，可直接在原有热式设备上现场升级，无需返厂，是拓展和提升传统原子层沉积技术到更高应用水平的技术创新。

       在以往传统的等离子体增强原子层沉积技术中，一般所采用的是射频等离子体技术。该技术能量密度偏低。基于完成一些特殊反应的需求，须要引入更高能量密度的微波等离子体技术。而传统的微波等离子体发生装置应用于原子层沉积这种交替脉冲模式时，存在着反复的起辉放电，容易造成起辉困难，同时由于起辉过程较长，从而大大延长了沉积过程的时间。

       我公司开发的独有的“超快脉冲”微波等离子体增强原子层沉积技术，克服了上述的缺点。我们特殊研发的微波等离子体快速发生装置以及等离子体反应气体特殊脉冲进入模式，可实现间歇式脉冲开断反复起辉，同时每次起辉可以实现超快速开启，可以实现毫秒级的等离子体脉冲，大大缩短沉积反应时间。

       与传统技术相比，它有着以下显著的技术优势：

提供纯净的高反应能量和反应活性，解决某些特殊材料难沉积的难题；

杜绝任何残留，如氧化物制备时羟基的残留；

方便彻底的还原过程来实现单质材料的沉积；

低温沉积更容易实现；

可实现高速沉积，沉积速度提高3倍以上，等等。

       我公司在原子层沉积、纳米薄膜制备、微纳米粉体制备与包覆、富勒烯（C₆₀）制备等领域的持续技术创新，会更好地服务于广大用户。 

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