钽金属所具有的优异的耐腐蚀性、生物相容性及力学性能，在医疗器械人体植入体及特殊环境下使用的精密部件上有着广泛的应用空间。其中，可实现在器件原始材料的三维表面原位生长钽/氧化钽的技术更加受到关注，该技术因其具有低成本易批量化的优点而更加具有工业化的潜力。

       我公司基于多年的技术积累，相应的工艺技术成熟，已开展钽/氧化钽的沉积服务与批量代工业务。我们的技术特点如下：

1.纳米级精确厚度可控，更加适用于1到100纳米范围的厚度要求。

2.三维保形性，三维结构/高宽深比结构内外表面原位生长，1-2%以内的厚度均匀性。

3.化学键结合，牢固且致密，可实现表面的原子级平坦。

4.可实现两种以上的不同的金属及有机无机及氧化物的掺杂，容易实现基于设计的复合材料体系构建的要求。

5.沉积生长温度宽泛，可实现低温沉积，除金属基材外，其他基材材料适用性宽泛。

6.低能耗无污染。

       我公司在原子层沉积、纳米薄膜制备、微纳米粉体制备与包覆、富勒烯（C₆₀）制备等领域的持续技术创新，会更好地服务于广大用户。 

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