专门为柔性材料沉积领域设计的原子层沉积系统。是基于革命性的创新设计的高产能卷对卷沉积模式，模块化的沉积单元可灵活配置组合以适用于不同的走带速度和基带宽度。该系统完全符合CE标准。它的操作界面直观简单，配备多种材料的标准沉积工艺配方，使用及维护成本低。该系统适用于不同幅宽的柔性薄膜材料（典型材料PEN、PET），50微米厚度基带可以一次完成1000m以上沉积。提供不同厚度沉积模块供用户选择。
设备高度集成：2m（长）X 1m（宽）X 1.6m（高）
多种沉积模式：单向沉积模式、往复沉积模式、单面沉积模式、双面沉积模式等
特殊的前驱体气路设计把前驱体源和载气的浪费减少到最低。典型Al2O3沉积工艺：N2载气流量1000sccm；每小时TMA消耗量<1g；实际使用功率：5KW。
所有参数（前驱体剩余量、沉积温度、载气流量，阀门状态等）均在操作界面中设定修改，整个沉积过程及状态参数均实时显示。包含多重安全保护机制。
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