基片尺寸：4 -12 英寸可选样品高度：6 mm，可选配更高样品选件基片温度：RT-400℃，控制精度±1℃，可选配更高温度选件前驱体输运系统：标准2路前驱体管路，可以选配到6路以上载气系统：Ar沉积模式：连续模式TM（FlowTM）、停流模式TM（StopFlowTM）、等离子体增强模式TM工作气体：1路氩气配置质量流量计，其余3路任意可选输出功率：0 ~ 200 W ± 3 %反射功率：保护到100W（当反射功率达到100W时自动限制传送功率）频率：2.45 GHz沉积均匀性：Al2O3 均匀性 < ±1%电源：50-60 Hz 220V /15A交流电源，标准金属机柜，易拆卸柜板，可调节支脚仪器尺寸：1100 X 600 X 1200 mm详细信息请联系我们
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