基片尺寸：4 -6英寸可选
样品高度：6 mm，可选配更高样品选件
基片温度：RT-400℃，控制精度±1℃，可选配更高温度选件
前驱体输运系统：标准2路前驱体管路，可以选配到6路以上
载气系统：N2或者Ar
沉积模式：连续模式TM（FlowTM）、停流模式TM（StopFlowTM）
可选件：手套箱，大尺寸/多片样品夹具，颗粒包裹夹具，臭氧发生器，原位监测系统，尾气处理系统，客户定制反应腔等
沉积均匀性：Al2O3 均匀性 <±1%
电源：50-60 Hz 220V /15A交流电源，标准金属机柜，易拆卸柜板，可调节支脚
仪器尺寸：400 X 400 X 500 mm
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