专门为工业化批量生产而设计的全自动原子层沉积系统，采用了独特的前驱体输运方式，可以完美地实现薄膜厚度与薄膜厚度均匀性的精确控制。配备多种材料的标准沉积工艺，满足工业应用的标准，使用及维护成本低。

可提供针对不同工业量产需求的工业级原子层沉积系统，包括标准系统和特殊定制系统。

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