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特殊定制原子层沉积系统
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专门为针对科学研究的特殊需求、及工业用户工业化量产定制所需要的特殊原子层沉积系统,包括预处理系统和与各种其他设备的无缝连接,样品的传输与在线检测,特殊沉积工艺要求等。
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