样品体积:可选粉体沉积桶容积,一次沉积最大容积>160 ml
沉积区域加热温度:RT-300℃可控,控制精度±1℃
腔体烘烤温度:RT-150℃可控,控制精度±1℃
前驱体输运系统:标准2路前驱体管路,可以选配到6路以上
载气系统:N2或者Ar
沉积模式:连续模式TM(FlowTM)、停流模式TM(StopFlowTM)
沉积均匀性:以Al2O3为例,50ml粉体颗粒上沉积大约20nm薄膜,颗粒有效包裹度>95%
电源:50-60 Hz 220V /15A交流电源,标准金属机柜,易拆卸柜板,可调节支脚
仪器尺寸:1100 X 600 X 1200 mm
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