2021年7月27日至30日,“2021年第九届中国原子层沉积会议(CALD)”在吉林省长春市举办。来自全国各地近百位知名教授、专家学者参加了研讨会。
本次研讨会旨在为本领域专家学者提供了解国内外ALD工艺、应用、前驱体源和设备技术等方面最新发展动态的交流平台,进一步推动我国ALD技术的快速发展。