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原子层沉积中的压力调谐模式TM(PreTuneTM)及应用
来源: | 作者: admin | 发布时间: 2021-09-08 | 1597 次浏览 | 分享到:

       压力调谐模式TM(PreTuneTM)是我公司所开发的独有专利技术,可对超宽深比的微纳米结构实现完美的超精细沉积。随着人们对介孔材料及微通道材料不断深入的研究,迫切需要一种新型的原子层沉积模式,以消除在传统模式过程中由于前驱体停留时间过长所导致的CVD效应,影响膜层的均匀性和一致性。该技术自推出以来持续获得用户的好评。我公司今年以来已完成多项不同领域的服务。

       示例一:氧化钆(Gd2O3)在高宽深比结构的MCP内壁的沉积,厚度均一为21nm

    

       示例二:氧化钛(TiO2)在SBA-15介孔分子筛孔道中的沉积精确可控

    

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