基于我公司的等离子体增强及前驱体增强输运技术,我公司已开展单质钯(Pd)、铜(Cu)、铑(Rh)、及氧化锂(Li2O)的沉积服务。单质钯与铜可在100-110摄氏度的沉积温度范围内实现。如有需求请咨询我们。
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我公司在原子层沉积、纳米薄膜制备、微纳米粉体制备与包覆、富勒烯(C60)制备等领域的持续技术创新,会更好地服务于广大用户。
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