我公司一种原子层沉积方法的专利(专利号:202211195472.8)于2025年8月18日获得国家知识产权局的授权,其涉及一种单次循环单面原子层沉积的方法,以解决相关应用的痛点,满足特定工艺过程中的特殊要求。
我公司一种原子层沉积方法的专利(专利号:202211195472.8)于2025年8月18日获得国家知识产权局的授权,其涉及一种单次循环单面原子层沉积的方法,以解决相关应用的痛点,满足特定工艺过程中的特殊要求。
我公司在原子层沉积、纳米薄膜制备、微纳米粉体制备与包覆、富勒烯(C60)制备等领域的持续技术创新,会更好地服务于广大用户。
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