分子层沉积（Molecular Layer Deposition，MLD）是一种类似于原子层沉积的技术。MLD是一种有机聚合物薄膜与有机、无机杂化膜的制备技术，可以实现每个循环沉积一个分子层的精确控制，可生成有机/无机交替的柔性叠层结构，在科研和工业领域的应用前景广阔。

       我公司已交付的分子层沉积设备顺利通过用户的验收。如下图所示，在4英寸硅片上沉积厚度为200nm的聚（铝乙二醇）有机薄膜，其标准偏差为0.9%，超过标准偏差小于2%的验收要求。

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